5-aksede freste keramiske isolatorer for halvlederutstyr og renrom

I den høyrisikoverdenen innen halvlederproduksjon og renromsmiljøer må hver komponent levere feilfri ytelse.PFT, vi spesialiserer oss på håndverk5-aksede freste keramiske isolatorersom omdefinerer presisjon og pålitelighet. Med over 20+Med mange års ekspertise er løsningene våre konstruert for å møte de strenge kravene til halvlederutstyr, og sikrer termisk stabilitet, elektrisk isolasjon og forurensningsfri drift i ultrafølsomme omgivelser.

Hvorfor velge våre 5-aksede freste keramiske isolatorer?

1.Avanserte produksjonsmuligheter

Anlegget vårt er utstyrt medToppmoderne 5-aksede CNC-fresemaskiner, noe som muliggjør nøyaktighet på mikronnivå ved forming av avanserte keramikkmaterialer som alumina (Al₂O₃), silisiumkarbid (SiC) og aluminiumnitrid (AlN). I motsetning til konvensjonelle metoder, tillater 5-akset maskinering komplekse geometrier – kritiske for komponenter som waferløftepinner, avsetningskammerdeler og plasmaresistente isolatorer.

Viktige funksjoner:

•Presisjon:±0,005 mm toleranse for sømløs integrering i ASML-litografiverktøy eller Lam Research-etsesystemer.
•Materialets allsidighet:Optimalisert for 99,8 % alumina, høyrens SiC og andre avanserte keramikkmaterialer.
•Overflatebehandling:Ra <0,2 μm for å minimere partikkelgenerering i ISO klasse 1 renrom.

2.Proprietær prosessteknikk

Våre ingeniører har utvikletlukkede prosesskontrollersom tilpasser seg keramikkens sprøhet under maskinering. Ved å kombinere tørrfreseteknikker med vibrasjonsdemping i sanntid, oppnår vi sprekkfrie overflater og forlenget levetid for komponenter – selv under ekstreme termiske syklinger (opptil 1600 °C).

Innovasjonsfokus:

•Protokoller for stresslindring:Minimer mikrofrakturer i AlN-isolatorer for CVD-applikasjoner.
•Etterbehandlinger:HIP (varm isostatisk pressing) forbedrer tetthet og korrosjonsbestandighet.

3.Streng kvalitetssikring

Hver isolator gjennomgår12-trinns inspeksjon, inkludert:

•CMM (koordinatmålemaskin)validering av kritiske dimensjoner.
•Heliumlekkasjetestingfor vakuumkompatibilitet.
•EDS (energidispersiv røntgenspektroskopi)for å bekrefte materialets renhet.

VårISO 9001/14001-sertifisert systemsikrer sporbarhet fra anskaffelse av råvarer (hentet fra Tier 1-leverandører som CoorsTek) til endelig emballasje.

Bruksområder: Der presisjon møter ytelse

Våre isolatorer er pålitelige innen:

•Etse- og avsetningsverktøy:SiC-belagte komponenter for plasmaresistens i Applied Materials™-moduler.
•Ionimplantater:Løftepinner av aluminiumoksyd med antistatiske belegg for å forhindre at waferen sklir.
•Målesystemer:Isolatorer med lav termisk ekspansjon for EUV-litografitrinn.

Casestudie:En ledende halvleder-OEM reduserte nedetiden for verktøy med 40 % etter å ha byttet til våre spesialdesignede SiC-dusjhoder, som overgikk konkurrentenes deler i 300 mm waferprosessering.

Utover produksjon: En partnerskapstilnærming

•Rask prototyping:Send inn CAD-filene dine og motta funksjonelle prototyper innen 7 dager.
•Emballasje for renrom på stedet:Valgfri klasse 10 renromsmontering for direkte verktøyintegrasjon.
•Livstids teknisk støtte:Våre ingeniører tilbyr slitasjeanalyse og ommaskineringstjenester for å forlenge komponentenes levetid.